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제품소개

저상형 제진대

RSL Series

주요특징

고중량, 고중심의 대형 장비에 적합한 고성능 저상형 제진대
대형 장비의 형상, 중량을 등 장비 사양을 고려한 최적화된 Total Solution 제공
  • - 장비 중량 및 사이즈에 맞춤 설계된 고강성 및 진동감쇠 특성이 우수한 제진 상판
  • - 다양한 Isolator 기술 보유로 장비 중량 및 Leveling에 따라 최적화 된 전 방향 제진 능력
  • - 자체 개발된 특수 Air Spring 탑재된 Isolator로 취약 지반에도 탁월한 제진 능력
Cradle Platform : 무게 중심이 상부에 있을 경우 적합한 고성능 저상형 제진대
Base Platform : 고중량 장비에 적합한 고성능 저상형 제진대

주요 사양※ 주문사양 제작 가능

모델 RSLC Series RSLB Series
고유진동수 일반 타입 : 1.0 ~ 1.2 Hz (수직) / 1.5 ~ 1.8 Hz (수평) 특수 타입 : 0.7 ~ 1.0 Hz (수직) / 1.0 ~ 1.2 Hz (수평)
레벨링 형식 Auto Leveling System by 3-Point Leveling Valve Repeatability : ±0.1mm
Vibration Isolation Pneumatic Isolation Type
상판 재질 정반, 하니콤 및 적층구조의 전도성 타일 상판 / Frame : Steel, Al, Stainless
최대 적재 중량 (kg) 2,000
Operation 4 ~ 6kg/cm2 압축 공기 또는 질소 가스

적용 분야

  • 1. FE-SEM, TEM, FIB
  • 2. Stepper, Mask Aligner, Disk Testing Spin Stand
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