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제품소개

VIBRATION ISOLATION MOUNT

RSi Series

주요특징

  • 고중량의 장비 하부에 간편히 장착하여 사용 가능
  • 고정밀 측정/검사 장비의 X-Y Stage 이송에 적합한 제진 제어 장치
  • X-Y Stage의 고속 이송에도 고정밀의 반복 정밀도와 우수한 레벨링 기능
  • 수직/수평 방향의 고성능 제진 기능

주요 사양※ 주문사양 제작 가능

모델 RSi Series
고유진동수 수직 : 1.0 ~ 1.5 Hz / Oil Damper : 2.0 ~ 2.3 Hz 수평 : 1.5 ~ 1.8 Hz / Oil Damper : 2.0 ~ 2.5 Hz
레벨링 형식 Auto Leveling System by 3-Point Leveling Valve Repeatability : ±0.05mm / ±0.1mm
감쇠 방식 Air Damping by Orifice
Operation 4 ~ 6kg/cm2 압축 공기 또는 질소 가스

적용 분야

  • 반도체/디스플레이 대형 측정/검사 장비
  • 고정밀 광학측정/레이져 장비
  • 기타 고정밀 계측기
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